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這里介紹幾款常見的MEMS微型壓力傳感器-MEAS MS5540 壓力傳感器
關(guān)鍵詞： MEMS壓力傳感器 防水壓力傳感器 低功耗壓力傳感器傳感器
MEAS旗下（ 瑞士intersema）的MS5540c是一款專為戶外產(chǎn)品設(shè)計(jì)的防水壓力傳感器，該傳感器采用MEMS制造技術(shù)，利用硅壓阻、溫度敏感元件集成采集壓力溫度信號(hào)，結(jié)合適當(dāng)?shù)臏囟妊a(bǔ)償和一個(gè)16bit的ADC來實(shí)現(xiàn)高精度的氣壓、溫度測(cè)量和數(shù)字輸出。傳感器尺寸為6.2*6.1*1.7mm，量程為10-1100mbar，25°C時(shí)，700~1100mbar內(nèi)精度可達(dá)到±1.5mbar，全量程精度可達(dá)±2mbar。分辨率為0.1mbar,可以準(zhǔn)確感應(yīng)80cm左右的空氣柱壓力（這一點(diǎn)在我們的多功能手表中已經(jīng)被很好的證明了）。采用較寬的激勵(lì)電壓范圍2.2V~3.6V，以板載的方式應(yīng)用在眾多氣壓監(jiān)控設(shè)備中。另外，該傳感器標(biāo)準(zhǔn)功耗（OSR=128) 小于5uA， 獨(dú)特的100m防水設(shè)計(jì)讓該傳感器在戶外移動(dòng)設(shè)備中的應(yīng)用備受歡迎，最典型的應(yīng)用應(yīng)該是多功能手表中的氣壓、溫度測(cè)量以及實(shí)現(xiàn)天氣預(yù)報(bào)功能的應(yīng)用，另外在戶外GPS的應(yīng)用上也非常普及。
整體評(píng)價(jià)：該傳感器由于采用了出色的封裝結(jié)構(gòu)，擁有獨(dú)特的100m防水設(shè)計(jì)，加上真正超低功耗的工作電流，當(dāng)屬普遍意義上微型傳感器的No.1
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Johnson
